Tháp hút tĩnh điện
Tháp hút tĩnh điện
Tháp hút tĩnh điện
+
  • Tháp hút tĩnh điện
  • Tháp hút tĩnh điện
  • Tháp hút tĩnh điện

Tháp hút tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt chính trong quy trình sản xuất trước của bán dẫn như khắcxem tỷ số bóng đá trực tiếp, depositt, tiêm ion, oxi hóa, v.v.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệnban ca tien, công nghệ này giúp giữ và phẳng màng silicon siêu mỏng một cách đồng đều mà không gây ra bất kỳ tổn thương hoặc ô nhiễm nào. Đặc biệt, nó có khả năng hoạt động trong môi trường chân không cao mà vẫn đảm bảo hiệu suất ổn định.

Sản phẩm được làm từ gốm nhôm oxit (loại Coulombxem tỷ số bóng đá trực tiếp, độ tinh khiết 96% và 99,6%), cung cấp các kích thước lên đến 12 inch trở xuống với nhiệt độ làm việc từ -30°C đến +180°C. Mặt ngoài của gốm có thể được xử lý tạo rãnh, in hoa văn hoặc điều chỉnh độ nhám tùy theo yêu cầu cụ thể của khách hàng.