Khay tải gốm
Khay tải gốm
+
  • Khay tải gốm
  • Khay tải gốm

Khay tải gốm

Dùng chủ yếu cho bề mặt nền LED và wafer bán dẫn (miếng thạch anhgame nổ hũ, miếng cacbon, miếng silicon, miếng germanium, miếng arsenid gallium, miếng nitru gallium, v.v.) cũng như các wafer và tấm cửa sổ khác trong quá trình mài mỏng, đánh bóng cứng và mài mịn CMP.

Sở hữu độ chính xác phẳng caobắn cá 3d, độ chính xác hình thái tốt và tuổi thọ dài, toàn bộ quy trình sản xuất của sản phẩm đảm bảo tính ổn định và tin cậy, mang lại hiệu suất làm việc xuất sắc trong nhiều điều kiện hoạt động khác nhau. Nó đã giải quyết hiệu quả các vấn đề như tổn thương điện cực, nứt wafer và khả năng chống ăn mòn kém, đồng thời đạt được chất lượng đánh bóng CMP tuyệt vời cho vật liệu wafer bán dẫn trong thực tế ứng dụng.

Kích thước tối đa Φ1000mmbắn cá 3d, độ phẳng toàn phần ≤0,8µm; độ phẳng cục bộ ≤0,2µm; bề mặt gốm có thể được chế tạo thành nhiều mã vạch hình dạng đặc biệt, phù hợp với dòng sản xuất tự động.