Tháp hút tĩnh điện
Tháp hút tĩnh điện
Tháp hút tĩnh điện
+
  • Tháp hút tĩnh điện
  • Tháp hút tĩnh điện
  • Tháp hút tĩnh điện

Tháp hút tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình then chốt chính trong quy trình sản xuất trước của bán dẫn như khắcbj88 đá gà, depositt, tiêm ion, oxi hóa, v.v.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệnxem tỷ số bóng đá trực tiếp, công nghệ này thực hiện việc giữ cố định và làm phẳng wafer bán dẫn siêu mỏng một cách đồng đều, với khả năng tạo lực hút ổn định, không gây ô nhiễm, không để lại dấu vết và có thể áp dụng trong môi trường chân không cao.

Chất liệu được sử dụng là gốm nhôm oxit (loại Coulombgame nổ hũ, độ tinh khiết 96% hoặc 99,6%), cung cấp sản phẩm có đường kính tối đa 12 inch và dưới 12 inch, hoạt động trong phạm vi nhiệt độ từ -30°C đến +180°C; bề mặt của gốm có thể được khắc rãnh, tạo hoa văn hoặc điều chỉnh độ nhám theo yêu cầu khách hàng.